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特種氣體的純度越高,性能越好,那么如何提高純度呢?影響特種氣體純度提高的因素有哪些?今天小編給大家講講。
特種氣體提純是制備工藝的核心技術(shù)壁壘。特種氣體純度的提高,能夠有效提高電子器件生產(chǎn)的良率和性能。電子特氣純度提升的影響因素較多,難度較大。電子特氣純度提升的影響因素較多,主要包括三個方面:
1)氣體的分離和提純。
電子特氣的分離和提純方法原理上可分為精餾分離、分子篩吸附分離以及膜分離三大類,在實際提純分離過程中,為了達到更好的分離效率,往往會利用多種分離方法進行組合,工藝更為復(fù)雜。
2)氣體雜質(zhì)檢測和監(jiān)控。
隨著電子特氣的純度越來越高,對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求,檢測限從.早的ppm級已經(jīng)發(fā)展到ppt級。目前國外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析(on-line),原位分析(insitu)等幾個階段。對于高純度電子氣體的分析,國外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測試方法和現(xiàn)場分析儀器。而由于我國電子特氣行業(yè)一直重生產(chǎn)而輕檢測,因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。
3)氣體的運輸和儲存。
高純電子特氣得來不易,在儲存和運輸過程中要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲運容器、以及相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口,確保避免二次污染。而我國加工工藝整體落后以及不符合國際規(guī)范,市場主要被國外公司占據(jù)。國內(nèi)電子特氣純度仍有待提升。目前國外電子特氣的純度一般在6個“9”(即99.9999%),而國內(nèi)多在4—5個“9”之間,少數(shù)能達到6個“9”。
以上就是小編整理的特種氣體提純的影響因素,如有需要,歡迎咨詢寶雞市誠信工業(yè)氣體有限公司。